안녕하세요! OUTFOXLAB 입니다. 오늘은 반도체용 코팅분말에 대해서 이야기 해보려고 합니다. 최근 전세계는 AI 산업의 혁명에 발맞추어 반도체의 중요성을 인식하고 있는데요. 반도체 칩의 생산이 늘어남에 따라 반도체 장비와 부품에 사용되는 세라믹 코팅 분말의 중요성과 수요도 늘어나고 있습니다. 반도체용 코팅분말은 주로 Y2O3, YAG, YF3, YOF 등 고순도 세라믹 및 특수 금속 계열 분말로, 반도체 장비의 부품 표면에 플라즈마 저항성, 내식성, 내마모성, 내열성 등을 부여해 장비 수명을 연장시키고, 공정 중 파티클 발생을 제어하는데 중요한 역할을 합니다.주요 소재 및 특성Y2O3 (산화 이트륨): 산화이트륨은 플라즈마 저항성이 매우 뛰어나며, 1차 입자 및 과립(크기, 밀도 등) 특성을 정밀..
